顾青颔首笑道：“对，为了设备安全和接口吻合，我们带了总共五套新的光源设备。”
“你们用的光源是什么？”赵教授推了推眼镜框问道。
“由我们九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，其放射的DUV深紫外以及EUV紫极外光在AS-ML的高端光刻机上已经可以做到完美替代。”
顾青刚说完，现场浦东微电子实验室的研发人员脸色都变了一变。
更有一些低声自语的：“这不是水木大学教授准备的研发方向吗？理论都没完善，成品就出来了？”
“是啊，前几天我的水木同学群还有人在说这个方向靠不靠谱。”
“这个搞晶圆制造的公司能有这个研发实力吗？”
“不知道，看他们这个团队，都是生面孔，没看到圈子里的熟人。”
议论纷纷中，顾青一行人接受着所有人的注目礼。
而李由等人握着行李箱手把的手，却是更用力了。
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